飞秒微加工系统

Meleon及Roban系列飞秒激光微加工系统可用于双光子聚合3D打印及光栅，光波导直写，飞秒切割钻孔、高速加工等，为广大工业、及科研客户提供了灵活的飞秒精密加工解决方案。

产品特点：

产品应用：

A) 双光子聚合3D打印

B) 飞秒光纤光栅直写

C) 紫外飞秒高速加工

产品参数

型号	Maleon	Roban-GT	Roban-FBG	Roban-Drill	Roban-Waveguide
应用类别	双光子聚合3D打印系统	紫外飞秒激光高速加工	飞秒激光光纤光栅直写	飞秒激光切割钻孔	飞秒激光光波导直写
光源	飞秒激光振荡器（780 nm, 80 MHz）	激光放大器（343 nm，1-200 kHz），可选配	飞秒激光放大器（1030 nm/515 nm, 1-200 kHz）	飞秒激光放大器（1030 nm/515 nm, 1-200 kHz）	飞秒激光放大器（1030 nm/515 nm, 1-200 kHz）
加工材料	光刻胶，蛋白质	透明介质材料、半导体材料、金属、聚合物等	石英光纤，蓝宝石光纤等	蓝宝石，石英，硅片及碳化硅等硬脆材料	石英玻璃及铌酸锂等透明硬质材料
三维加工范围	120 μm (L) × 120 μm (W) × 100 μm (H)	100 mm (L)×100 mm (W)×60 mm (H)	100 mm (L) × 100 mm (W) × 60 mm (H)	样品厚度： 0.1 mm - 3 mm	100 mm (L) × 100 mm (W) × 60 mm (H)
XY轴重复定位精度	XY加工特征尺寸 200 nm	±50 nm	±50 nm	钻孔孔径： 20um-20mm	±50 nm
Z轴重复定位精度	加工层厚 100 nm	±100 nm	±100 nm	定位精度：±3 μm	±100 nm
最高扫描速度	----	200 mm/s	100 mm/s	200 mm/s	100 mm/s
加工文件格式	点云文本，STL	支持位图，DXF及STL等CAD文件格式转换	基于器件参数的自动化生成/用户自编AeroBasic脚本	DXF及基于加工图形参数的自动化数据生成	基于器件参数的自动化生成/用户自编AeroBasic脚本

参考文献：

Wu D, Wang J N, Niu L G, et al. Bioinspired fabrication of high‐quality 3D artificial compound eyes by voxel‐modulation femtosecond laser writing for distortion‐free wide‐field‐of‐view imaging[J]. Advanced Optical Materials, 2014, 2(8): 751-758.
Chen Q D, Lin X F, Niu L G, et al. Dammann gratings as integratable micro-optical elements created by laser micronanofabrication via two-photon photopolymerization[J]. Optics letters, 2008, 33(21): 2559-2561.
Guo Q, Yu Y S, Zheng Z M, et al. Femtosecond laser inscribed sapphire fiber Bragg grating for high temperature and strain sensing[J]. IEEE Transactions on Nanotechnology, 2019, 18: 208-211.